نوع مقاله : مقاله پژوهشی

نویسنده

• داریوش فتحی

گروه مواد هسته ای سازمان انرژی اتمی ایران

چکیده

سرعت اکسید شدن در سیلیکون می تواند در اثر وجود ناخالصی ها تغییر کند.

عنوان مقاله [English]

SILICON STEAM OXIDATION

نویسنده [English]

• D Fathi